產品名稱：主動式三軸磁場補償系統

產品簡介：主動式三軸磁場補償系統是利用低雜訊的三軸磁通閘磁力計偵測到三軸磁場強度後回饋到控制模組，經控制模組輸出控制電流予Helmholtz三軸立體補償線圈產生三軸 ( X、Y、Z )相應磁場，來補償外來的三軸( X、Y、Z )磁場干擾。此系統設計採用自動三軸補整，可隨時依外界磁場變化做快速的補償。
　

[產品規格]

產品名稱：磁場屏蔽罩
產品簡介：磁場屏蔽罩主要使用在電子束相關設備儀器，如SEM、E-Beam writer；此設備可以完全包覆機台，保護高效能電子束相關設儀，降低電磁場的干擾，解決機台因磁場干擾而產生影像晃動、模糊等問題。

MSB

[產品規格]

[詳細資料]